活性炭脱附吸附催化燃烧分为吸附、脱附、燃烧三个步骤：
1、吸附过程， 吸附过程就是将废气气体结合到固体上去的传递过程。废气气体（吸附质）进入固体（吸附剂）的孔隙中，但并未进入其晶格内。而且普遍使用的吸附剂是活性炭、分子筛、硅胶和活性氧化铝等。按成本考虑目前使用活性炭材料的比较多，有机废气催化燃烧装置的这些吸附剂，经过处理后表面积增大，可有效吸附有机组分污染物。
2、脱附过程：就是在吸附剂饱和的状态下，进行脱附流程，附着于吸附剂上的在脱附作用下分离，通过管道进入燃烧室。
3、催化燃烧：被分离出的废气直接进入燃烧室，在催化剂的作用下进行无焰燃烧，从而净化分解。经净化后的气体返回吸附室排出。
催化燃烧设备的优点
1、催化燃烧设备操作方便：设备工作时实现自动控制
2、催化燃烧设备能耗低：设备启动只需15-30分钟，不升温至启动温度(有机废气处理浓度高时)，催化燃烧装置，能耗只有鼓风机的电力
3、催化燃烧设备：设备具备防火系统、防爆压系统、超温报警系统及自律系统。
4、催化燃烧设备阻力小，空化：采用目前钯、铂浸渍的蜂窝陶瓷载体催化剂，比表面积大
5、余热可以重复使用(余热可以返回至烘烤，降低原烘烤中的耗电量； 也可以成为其他热源。
废气催化燃烧法已成为vocs控制的主流技术。但枢纽题目在于如何进步催化剂的活性和不乱性，进步催化剂合用性，以及降低催化剂本钱。其原理是：催化剂对voc分子的吸附，进步了反应物的浓度，其次是催化氧化阶段降低反应的活化能，燃烧催化装置，进步了反应速率。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度下，发生无氧燃烧，rto催化燃烧装置，分解成co2和h2o放出大量的热，与直接燃烧比拟，具有起燃温度低，能耗小的特点，某些情况下达到起燃温度后无需外界供热，反应温度在200-400℃。
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